GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮
作者:标准资料网 时间:2024-05-21 16:33:19 浏览:9412
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基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 氮 |
| 英文名称： | Gases for electronic industry--Nitrogen |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 替代情况： | 被GB/T 16944-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1997-08-13 |
| 实施日期： | 1998-05-01 |
| 首发日期： | 1997-08-13 |
| 作废日期： | 2010-05-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 化学工业部西南化工研究院 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2004-04-11 |
| 页数： | 平装16开， 页数：6， 字数：6千字 |
| 书号： | 155066.1-14392 |
适用范围
本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。
前言
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所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体
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